上市公司天龙光电联手华晟光电研发MOCVD

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内地创业板上市公司天龙光电(300029)发布公告,江苏华盛天龙光电设备股份有限公司(以下简称“天龙光电”或“公司”)与华晟光电设备(香港)有限公司(以下简称“华晟光电”)2011218在江苏金坛签署《江苏华盛天龙光电设备股份有限公司与华晟光电设备(香港)有限公司成立合资公司之合资合同》,天龙光电利用超募资金投入,华晟光电以多项MOCVD专有技术及资金投入,共同在常州合资成立独立法人的中外合资公司,主要从事MOCVD设备及外延工艺的研发、生产、销售、及售后服务,并且合资公司将在上海成立以研发为目的的子公司。天龙光电利用超募投入人民币5333.33万元,华晟光电以无形知识产权投入折算人民币3523.8万元以及资金投入人民币666.67万元。

  天龙光电(300029)是一家致力于新能源设备及其应用的创业板企业,目前的主要产品包括单晶生长炉、多晶铸锭炉、多线切割机、LED蓝宝石炉等,经过近5年来的发展,公司已经成为国内重要的新能源设备供应商。在今后35年内,公司在战略上将围绕光伏行业和LED行业这两大新能源产业的重要方向,致力于在这两个产业链上的设备研发、制造和应用。

  华晟光电是由一批LED MOCVD领域的技术专家和管理人员共同创建,拥有创新的、具有自主知识产权的多项LED MOCVD技术,并且团队具有20多年所积累的世界一流大规模生产的半导体薄膜沉积设备的技术与经验。主要从事LED MOCVD设备、技术、外延工艺的研发、生产、市场经营与销售、及售后服务。 陈爱华原任美国应用材料公司( Applied Materials )LPCVD产品部总经理和中微公司董事,执行副总裁。从1992年起,参与和领导开发了几代一系列薄膜沉积技术和设备, 包括金属物理溅射;MOCVD的铝、氮化钛、钨和钨化硅化;氮化硅、晶硅和氧化硅热化学沉积;并成功引入市场,推动了世界薄膜沉积技术和设备的发展。具有长期的技术开发,产品管理,知识产权管理,市场及销售,人才资源管理,用户服务,信息管理,及综合决策管理的全面经验。已获得40项美国、日本、中国和欧洲专利,还有11项待批专利。三次获得美国应用材料公司的杰出工程与发明奖。

  根据该项目出具的可行性研究报告显示,合资公司MOCVD设备核心竞争力的开发战略为:

  a) 降低芯片外延制造成本35% 以上

  b) 提高外延大规模生产所需的设备的可靠性、稳定性、安全性和系统维护

  c) 提供高性能芯片外延制成工艺

  与AixtronVeeco相比,该MOCVD的系统单位产能可以提高30%以上。实时温度控制的多-独立加热元件电阻式加热器设计和垂直均匀分离喷淋式反应气体输送与分布喷头系统相结合,既可十分有效地提高外延片的良品率,又可解决目前AixtronVeeco设备在大规模生产中所存在的可靠性问题和减少系统维护与昂贵反应气体的消耗。

  另外,该项目所采用的水平与垂直结合式气体排出技术,能降低杂质颗粒,提高外延片薄膜晶化的质量,既增加了良品率,同时也能减少昂贵反应气体的消耗。通过以上所述的降低设备和耗材成本的途径,公司MOCVD设备和消耗零部件的成本可降低30%以上。